基于陶瓷微热板的高温气体传感器研究

摘要

针对目前商用陶瓷气体传感器功耗大、封装困难等缺点,提出一种陶瓷微加工微热板式气体传感器的结构和无内引线封装的方式。通过光刻剥离的方法,在氧化铝陶瓷基底上制作出Pt微加热器及接触电极。采用激光微细加工技术,制作出不同结构参数的陶瓷微热板器件。从温度同加热功率的关系、热响应时间和微加热器稳定性等方面对微热板进行了测试和评价。结果表明,陶瓷微热板具有较低功耗和高温工作的优势,可稳定工作的温度达到600℃。作为热板的高温应用之一,研制了CH4气体传感器,在500℃的工作条件下,对CH4气有很好响应灵敏度,且对CO干扰气体基本无响应。