MEMS气体传感器微热板仿真设计及气敏性能研究

摘要

通过Ansys仿真分析,对微机电系统(MEMS)气体传感器悬膜式微热板整体结构进行优化,有效地降低热串扰,减少加热层向硅基底的热量传导,从而降低传感器的功耗;并设计圆弧应力匀散结构,降低微热板的热应力。测试气敏结果表明:该传感器对NO_(2)具有较好的响应和恢复特性,检测下限达到0.1×10^(-6),并且与NO_(2)体积分数有良好的线性关系。