针尖轮廓飞象扫描检测方法研究

摘要

分析了目前我国几种针尖轮廓检测方法、特点和存在问题。提出了一种针尖飞象自动检验方法，其原理是：被检测的针尖和探测器不动，利用转镜系统扫描针尖，产生针尖各部的时序象（飞象），这些依次出现的象受到探测器检测，即可获得反映针尖轮廓的一串直径信息。文中还对飞象扫描法的误差进行了分析和讨论。