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陈立国; 王挺; 李亚娣; 潘明强;
苏州大学机电工程学院 & 苏州纳米科技协同创新中心,江苏苏州215021;
绝缘体上硅(SOI); 压阻传感器; 芯片; 封装质量; 视觉检测; 阳极键合;
机译:基于SOI晶片的压阻桥微悬臂生物传感器用于葡萄糖检测
机译:使用压阻仪的压力传感器使用压阻:检测气体大气压压差的传感器
机译:用于苛刻环境应用的多晶硅 - 绝缘体(PolysoI)和基于SOI的微压阻压力传感器的制造与表征
机译:硅玻璃阳极键合中的应力及其对硅压阻压力传感器的影响
机译:柔性基板上的MEMS压阻式压力传感器,采用镍铬合金和CNT /聚酰亚胺纳米复合材料作为压阻器。
机译:新型高精度结构SOI压阻式压力传感器的设计优化与制作
机译:压阻式压力传感器:对超高敏感压阻式压力传感器的协同抗性调制(ADV。Mater。Technol.4/2020)
机译:Kilobar Blast压力传感器 - 使用硅传感器技术的3.4 Kilobar压阻式爆破压力传感器
机译:基于带有微刻图的SOI结构的压阻式压力传感器。
机译:制造桥式结构的方法和制造具有相同方法的压阻加速度传感器的压阻加速度传感器的方法
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