真空紫外空阴极气体放电光源

摘要

真空紫外空阴极光源是一种稳定的气体放电光源,工作气体为He、Ne、Ar、N_2、H_2、CO等,工作气压10torr～10^(-2)torr,工作电流100mA～400mA,能在20～200nm波段产生丰富的原子和离子谱线,光谱辐射稳定性优于±1％。