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于德利;
无;
微光机电系统; 微光学元件; 集成电路;
机译:微光机电系统陀螺仪盘敏感结构的研究
机译:校正:Shen,X.等。微光机电系统谐振陀螺仪的盘敏感结构研究。微型机械,2019,10,264
机译:微光机电系统的等离子体纳米结构的集成
机译:用于微结构操纵的微光机电系统(MOEMS)。
机译:校正:ShenX.等。微光机电系统谐振陀螺仪的光盘敏感结构研究。微型机械201910264
机译:微光机电系统(MOEMS)装置
机译:立体光刻机及其中使用微光机电系统(moem)
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