复合膜结构的光纤微光机电系统超声传感器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种复合膜结构的光纤微光机电系统超声传感器及其制作方法，复合型薄膜包括氮化硅薄膜和氧化硅薄膜，氧化硅薄膜生长于氮化硅薄膜上表面，由于两种薄膜平面结构的差异，复合过程能够有效改善单层膜片表面的残余应力，提高对超声波敏感的灵敏度。本发明能够调节不同波长入射光的光程差，实现对宽带入射光各波长的光程差保持整体一致，实现稳定的光学干涉，并提高信号解调的线性范围。本发明采用复合型薄膜结构，提高了敏感膜片的响应频率范围和声压强度承压范围，可应用于宽带宽以及大压强的超声波检测。