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吴一辉;
无;
硅微加工; 微系统制造; 体微加工; 表面微加工;
机译:适用于制造基于硅的微系统的气相微加工工艺的粗糙度表征
机译:用于3D微系统封装的锥形硅微微加工工艺的开发
机译:用于分光光度法微系统的微加工硅灯丝光源
机译:硅激光微加工:制造太赫兹成像阵列的新技术
机译:飞秒激光微加工用于硅模具制造和热压花用于聚合物微复制的实验表征。
机译:仅在高温下仅使用氧气进行硅蚀刻:在150 mm硅晶片上进行硅微加工的另一种方法
机译:硅微加工的新技术:用于实现低掺杂单晶硅结构的掺杂剂选择性HF阳极蚀刻
机译:采用5级表面微加工技术制造片上微系统
机译:通过多孔硅微加工制造单晶硅微机械元件的CMOS集成工艺
机译:通过多孔硅微加工和包含这种元素的传感器芯片来制造单晶硅微机械元件的CMOS集成工艺
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