单片集成微型激光编码器

摘要

@@ 1引言rn科学家们最终的目的就是要把一个完整的光学测量仪器放置在一块芯片上,但所面临的挑战是要缩小那些用于线性运动位移成旋转角的光学测量仪器的体积,这些仪器称之为线性编码器或轴角编码器.光学测量仪器的小型化已经带来了许多意想不到的好处.当小型光学测量仪器同小的执行机构,像压电触发器,小超声电机,X、Y和Z换向及操纵器结合到一起的时候,它就会使功能大增.当这种仪器同一个高速运动的装置结合到一起时,其小型化就是要达到的重要目的,而其中低惯性是关键问题.