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微型单片集成晶体硅太阳电池的研究

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摘要

本文报道了用微型单片集成晶体硅太阳电池为MEMS供电的研究结果.研究发现:采用高效太阳电池将光能转换为电能,为MEMS供电是一种切实可行的方案,可在同一块单晶硅衬底上采用与MEMS相兼容的工艺技术,实现太阳电池的分割隔离及互连接达到MEMS系统所需电压的目的.

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来源
《2003年中国太阳能学会学术年会》|2003年|84-85|共2页
会议地点上海
作者
于化从; 杨宏; 王鹤; 崔容强; 周之斌; 孟凡英; 赵占霞; 赵百川;
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作者单位

中国太阳能学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类太阳能电池;
关键词
硅太阳电池; 串联集成; MEMS;

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