激光编码器,采用该激光编码器的位移测量方法和数控机床加工方法

摘要

本发明公开了一种激光编码器，包括一个激光光源、衍射光栅、偏振分光棱镜、准直透镜、1/4波片、物镜、编码盘、凹透镜、圆柱透镜和光电接收器，其中编码盘可绕一个位于中心的固定转轴旋转，其表面为可以反射所述激光的反射面，其上设置三组同心环状的信息轨，其中每组信息轨由多个彼此间隔开的带状单元组成，所述的带状单元是在编码盘表面加工形成的、与编码盘表面的其他区域的高度差应使从所述的凸台或凹坑形区域反射回的光和从编码盘表面的其它区域反射回的光在相位上相差180度的凸台或凹坑区域。本发明还公开了一种采用上述激光编码器的位移测量方法以及数控机床加工方法。