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厚、薄膜电阻激光快速微调技术

         

摘要

详细介绍了激光微调厚薄膜电阻的基理、激光调阻系统的构成、激光器选择、光束定位扫描系统及实时检测原理,并给出了调阻过程中各种相关参数.

著录项

  • 来源
    《光机电信息》 |2000年第7期|23-26|共4页
  • 作者

    张景旭; 田兴志;

  • 作者单位

    中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130022;

    中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130022;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 光电子技术、激光技术;
  • 关键词

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