片式电阻激光微调过程中的调阻精度控制

摘要

提出了一种基于激光刻蚀路径的修调电阻精度控制方法。该方法通过动态确定L型调阻图形的横、纵向切割长度实现对调阻精度的控制。在保证阻值测量精度的条件下,应用该法在0.1Ω～100MΩ的薄膜电阻阻值进行修调,调阻精度可达到1%。