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硅光栅技术

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制作硅光栅的微细加工工艺可分为体硅工艺和面硅工艺,这些微细加工方法在技术上与微电子及微机械工艺可以兼容,这使得制作集成式微型光谱仪成为可能.硅是一种良好的近红外材料,可以用来制作天文红外光谱仪器的浸没光栅.本文重点介绍了硅光栅的制作工艺及其在不同领域中的应用.

著录项

来源
《光机电信息》 |2002年第8期|13-15|共3页
作者
栾光辉; 刘剑;
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作者单位

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130022;

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130022;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类电视 ;
关键词
硅光栅; 微细加工工艺; 体硅工艺; 面硅工艺;

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