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含多孔硅层的表面覆膜波导光栅传感特性研究

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摘 要

Abstract

第1章 绪 论

1.1 课题研究背景及意义

1.2 波导光栅概述

1.2.1 波导光栅基本概念及其分类

1.2.2 波导光栅的应用

1.3 波导光栅传感器的国内外研究现状

1.4 课题来源及论文主要工作

第2章 波导光栅基础理论研究

2.1 引言

2.2衍射光栅的基本特性

2.3平板介质波导的光学特性

2.4光栅衍射的理论计算方法

2.4.1 严格耦合波计算法

2.4.2有限元计算法

2.4.3等效介质理论

2.5 本章小结

第3章 波导光栅共振及光谱特性分析

3.1引言

3.2波导光栅共振原理

3.3波导光栅共振的等效波导模型

3.3.1 单层等效波导模型

3.3.2 多层等效波导模型

3.4波导光栅共振光谱特性分析

3.4.1 光栅参数对共振光谱的影响

3.4.2波导参数对共振光谱的影响

3.4.3 基底和包覆层参数对共振光谱的影响

3.4.4 入射角度对共振光谱的影响

3.5 本章小结

第4章 含多孔硅层的波导光栅传感特性研究

4.1引言

4.2多孔硅材料概述

4.2.1多孔硅简介

4.2.2多孔硅形成机理和制备方法

4.2.3 多孔硅光学传感机理

4.3含多孔硅层的波导光栅传感结构的提出

4.4含多孔硅层的波导光栅传感机理分析

4.5波导光栅材料的参数选择

4.6含多孔硅层波导光栅传感特性研究

4.6.1传感器Q值特性研究

4.6.2传感器灵敏度特性研究

4.6.3传感器对葡萄糖溶液的响应特性研究

4.7 本章小结

第5章 表面覆膜波导光栅传感特性研究

5.1 引言

5.2表面覆膜波导光栅传感结构的提出

5.3表面覆膜波导光栅传感机理分析

5.4覆膜材料的参数选择

5.5表面覆膜波导光栅传感特性研究

5.5.1传感器Q值特性研究

5.5.2传感器灵敏度特性研究

5.5.3 传感器对葡萄糖溶液的响应特性研究

5.6覆膜前后波导光栅传感器性能对比分析

5.7 本章小结

结 论

参考文献

攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果

致 谢

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