含钼涂层钨材料在氦等离子体作用下的前期表面形貌演变研究

摘要

为了研究纳米绒毛的生成过程及内在的物理机制,采用磁控溅射镀膜的方式在钨片上镀有钼涂层(Mo-W)。借助微观结构观察的手段分析了钨、钼块材以及钨-钼(Mo-W)样品在773K、1073K氦等离子体作用条件下的表面形貌演变过程。结果表明:钨、钼以及钨-钼(Mo-W)样品在氦等离子体作用下表面形貌演变规律基本一致;纳米绒毛及其珊瑚状前驱体是在尺寸相对较大的锥状结构上演化而来的。