退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
邓凯; 夏善红; 龚超; 白强; 陈绍凤;
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室;
SOI; 衬底; 器件; 小尺寸; 键合; 微型; 封装; 电场传感器; 环境探测; 测试;
机译:基于SOI的微型电场传感器的新制造工艺
机译:使用体微机械加工工艺的谐振微型电场传感器
机译:使用体微加工工艺的谐振微型电场传感器
机译:SIS光子线组件和SOI衬底上的微型滤波器
机译:集成光学器件中的电光环形谐振器,用于微型电场传感器
机译:腔箱SOI:具有预先图案盒的先进硅衬底用于单片MEMS制造
机译:使用微型EDM进行硅的微加工研究=使用微型EDM进行硅的微加工研究
机译:0.18微米硅锗(siGe)和硅绝缘体(sOI)工艺中的衬底噪声耦合分析
机译:绝缘体上硅(SOI)衬底,制造SOI衬底的方法以及使用该SOI衬底的SOI MOSFET
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。