金属掺杂类金刚石膜的研究进展

摘要

金属掺杂类金刚石(Diamond-like Carbon,DLC)膜可以优化纯类金刚石膜的很多性能.金属掺杂DLC膜不仅在缓解薄膜应力方面具有良好的效果,而且还能改变薄膜的力学和摩擦磨损性能.目前,掺杂DLC膜正发单一掺杂向复合掺杂、均匀掺杂向梯度掺杂发展.文章对掺杂DLC膜的研究进展作了概括及分析.