在大直径硅基板上生长GaN薄膜的批量生产技术

摘要

日本太阳日酸公司与名古屋工业大学签订了共同研究契约，研究在大直径硅基板上生长GaN薄膜的批量生产技术和功率器件的评价技术。GaN与SiC一样，作为替代硅系材料的下一代节能器件用材料，其开发正在进行。特别是GaN，期待用于空调、照明、手机、汽车电装品等中低压领域。在同名古屋工业大学的共同研究中，将使用太阳日酸公司生产交付给名古屋工业大学产学官联合成立的“氮化物半导体多业务创生中心”的具有世界最大处理能力的MOCDV（有机金属气相生长）装置。