在泡沫碳化硅衬底上生长的硅镜

摘要

美国Schafer公司开发出一个化学气相沉积工艺，利用该工艺可在泡沫碳化硅衬底上生长硅镜。这项课题是由美国导弹防御局资助的。其核心以连续的、强化的硅外壳包裹，从而提高了结构强度和热学性能，与此同时成本得以降低还减轻了重量。老工艺为了减轻重量，采用将支撑结构材料除去的办法。