光学薄膜表面质量与膜层牢固度分析

摘要

光学系统一般要通过镀膜来提高系统的透过性能，光学零件（基底）镀膜前表面的清洁质量直接影响镀膜的薄膜质量，如薄膜表面质量（光洁度）、膜层牢固度。通过对不同光学零件清洁方法的评述，分析了影响光学零件膜层表面质量与牢固度的因素，提出了一些工作实际中的改进措施。