扫描电子显微镜和原子力显微镜--表面观察的互补技术

摘要

对于高分辨率表面观察,人们通常利用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM),特别是当分辨率在纳米和原子范围时,SEM和AFM是我们今天可以获得的最有效的两种显微技术.然而,任何一种仪器都不是万能的.本文就材料的表面结构、成分和环境对两种技术进行比较,并描述它们各自独立的特点和互补性.