对引进离子注入机损坏部件进行国产化替换的尝试

摘要

国内引进了不少离子注入机,维修问题日渐重要。对其损坏部件,用国产配件进行替换,不乏为又快又省的维修方法。本文叙述了八年多来,我们在维修IM—200M型离子注入机的实践中,对损坏的吸极电源、氟里昂热交换器和化学机械泵等重要部件,用自制的或改制的国内配件进行替换,从而保证了设备安全运行二万五千多小时,注入八万五千多块硅及GaAs靶片,完成了集成电路研制和开发任务。