IBAD技术的开发

摘要

IBAD(离子束辅助淀积)是一种很有潜力的材料表面改性和优质薄膜合成技术。本文在论述它在薄膜科学研究中的特点和应用基础上,提出了IBAD技术的开发方向,给出了利用IBAD—PVD复合镀膜技术进行异质材料界面设计和利用IBAD—PVD复合淀积多层膜技术进行CoSi_2薄膜合成的研究实例。这些研究为合成满足需要的优质薄膜提出了优化的技术路线。