IBAD-PLD法による長尺YBCO線材の開発（2）- IBAD-Gd_2Zr_2O_7二軸配向基板の長尺化及び高速化プロセスの開発

摘要

我々はイオンアシスト蒸着(IBAD)法とパルスレーザー蒸着(PLD)法の組み合わせを用いて高特性Y系高温超電導線材の開発を行っている。この組み合わせを軸にしたY系高塩超電導線材は高い特性と実績を有し、多くのグループが注目して長尺化プロセスの開発に注力している。当センターにおいてもPLD-CeO_2/IBAD-Gd_2Zr_2O_7(GZO)基板作製ではすでに100mの長尺化を達成しており、PLD-YBa_2Cu_3O_(7-d)(YBCO)層の成膜条件の検討段階に入っている（本学会発表（山田）参照）。前回（低温工学2003年春）、GZOを中間層に用いたIBAD二軸配向基板の作製において、長尺装置の導入と静止基板上における実験について報告を行ったが、今回はその後の長尺化へ向けたプロセス研究についての報告を行う。また、製造速度の高速化へ向けた最近の成果についても報告する。