PCVD制备工业硬膜研究

摘要

用等离子化学气相沉积技术制备了ＴｉＮ，ＴｉＣ，Ｔｉ（ＣＮ）和（ＴｉＳｉ）Ｎ膜及其组合的多层膜。ＰＣＶＤ具有很好的覆盖性，ＰＣＶＤ－ＴｉＮ具有很好的耐磨耐蚀性，膜与基体结合良好，因而用ＰＣＶＤ法在高速钢刀具，模具及轴承上沉积ＴｉＮ可大大提高其使用寿命。