硬质合金YG8衬底直接沉积金刚石薄膜的探讨

摘要

在硬质合金衬底上直接沉积金刚石薄膜，总是伴随着石墨化过程，钴是促进石墨生长的积极因素。由于衬底温度决定氢原子的活性和钴的扩散方式，因而它是金铡石形核和生长的关键条件。在合适的衬底温度下，金刚石能形成均匀连续的薄膜。