形状记忆合金薄膜驱动微泵的动态特性

摘要

一种用形状记忆合金薄膜驱动的新型微泵已经研制成功.为了进一步提高微泵性能,研究了微泵在不同驱动条件下的动态特性.结果表明,随着驱动电流和频率的增加,驱动膜有一个最大的位移值.占空比对最大位移的影响在有无流体情况下是不同的.微泵的流量不仅仅由驱动膜的位移决定,它还与驱动频率有关.在给定的频率下,位移越大,输出流量也越大.动态驱动过程中NiTi电阻的变化表明,形状记忆合金薄膜的马氏体←→奥氏体相转变是不完全的.