热驱动双金属薄膜式微泵的热学研究

摘要

本文对双金属热驱劝微泵建立了数值模拟模型,得到微泵整体的温度分布和温度响应,通过进一步分析泵体的热流分布,对微泵的能量利用与转换过程进行了深入研究.计算表明,加热半周期内,电能转化的热量大部分以导热形式通过硅膜散失到泵体,小部分通过对流换热散失,只有很少部分被有效地利用来使膜片温度升高.本文提出了微泵的优化方案.