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基于NiTi形状记忆合金精密微泵的设计

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形状记忆合金(SMA)作为新型功能材料已广泛用于各种微电子机械系统(MEMS)中.此次研究是一种新型有阀微泵的设计.该微泵的结构简单,采用NiTi形状记忆合金薄膜作为微驱动薄膜,采用钢珠—弹簧作为单向阀的有阀微泵,钢珠和弹簧直径都为5mm,泵腔为直径10mm高为15mm的有机玻璃圆柱体.

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来源
《科技信息》 |2011年第29期|550606|共2页
作者
曹金辉; 王波林; 叶超; 王欢;
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作者单位

南昌工程学院江西南昌330099;

南昌工程学院江西南昌330099;

南昌工程学院江西南昌330099;

南昌工程学院江西南昌330099;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
形状记忆合金 ; 钢珠—弹簧; 微驱动薄膜; 微泵 ;

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