超精密磁悬浮工作台的一种低功耗磁悬浮设计

摘要

超精密磁悬浮工作台的磁悬浮部分的设计,将直接影响到系统的动力学性能、空间结构以及热性能等.针对这些性能上的要求,给出了一种三磁极电磁铁及相应的磁悬浮设计,并结合常规双磁极电磁铁的情况,对性能进行了分析和比较.相比之下,该设计可使静态功耗(或发热量)降低50%,具有更合理的空间结构.只需要两个这样的电磁铁便可以实现工作台的磁悬浮(采用双磁极电磁铁则通常需要四个).最后通过一个应用实例及实验结果,验证了.该设计的正确性和有效性.