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鞠挥; 张平; 王淑荣; 吴一辉;
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,长春,130022;
(111)硅片; 闪耀光栅; 体硅技术; 微制造; MEMS; 湿法腐蚀;
机译:偏晶蒙特卡罗模拟研究在(111)衬底上的不同金属添加层
机译:基于倾斜(111)硅片的MEMS高效NIR扫描光栅的设计与制造
机译:硅片刻蚀对硅片选择性的负面影响以及光电流对不同晶圆偏置频率的栅刻蚀中刻蚀轮廓的正影响
机译:硅片上晶圆校准套件的设计
机译:使用射频电浆辅助化学束磊晶成长氮化铟磊晶材料于表面氮化处理矽(111)基板之研究 =Investigation of Epi-InN Materials Grown on Surface Nitride Si (111) Substrate by RF-CBE
机译:氟化对AG(111)的界面能量和五偏生长的影响(111)
机译:作为数据寻呼机的硅片微晶的全息数据存储系统的变形和局部表征
机译:超偏晶合金系统中的均匀复合物及其制备方法
机译:在111晶硅平面上形成111-III-V器件结构
机译:制造闪耀光栅的方法,例如闪耀光栅和具有这种闪耀光栅的光谱仪
机译:一种在(100)硅片的(111)表面上制造膜的方法
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