光刻机曝光光学中的概念辨析

摘要

归纳解释了光刻机曝光光学中的若干重要概念，例如分辨率、集深等，详细地阐述了光刻机曝光的原理。考虑到类似概念在不同系统中的含义差异，进行了针对性的辨析。从物理光学层次了解和掌握光刻机曝光的机理。