光学元件支撑结构、单元镜组、曝光光学系统及光刻机

摘要

本发明公开了一种光学元件支撑结构，用于支撑单元镜组(21)的光学元件(22)，包括镜座(24)，所述镜座(24)为圆周对称的机械构件，所述镜座(24)的内环向镜座中心伸出支撑杆(246)，所述支撑杆(246)在光轴方向和镜座径向上均具有柔性，所述支撑杆(246)末端设置有支撑面(247)，所述支撑面(247)与光学元件(22)的下表面相互匹配，以将光学元件(22)固定在所述镜座(24)上；所述支撑杆(246)的内侧连接有一运动台(245)，所述运动台(245)通过一导向机构(243)与镜座(24)的外环连接，所述导向机构(243)用于运动台(245)的运动导向。