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全自动光刻机自动对准与激光扫描光学系统

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本文首先概述了全自动光刻机的对准光学系统,接着详细阐述了激光扫描实时检测对准误差的基本原理,分析了扫描对准光学系统的设计要求,讨论了设计时应该遵循的原则、设计方法、设计步骤和有关方案,并给出了部分测试结果.

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来源
《华中科技大学学报：自然科学版》 |1991年第5期|27-32|共6页
作者
吴长发;
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作者单位

华中理工大学光学工程系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN470.5;
关键词
光刻机; 激光; 扫描; 光学系统; VLSI;

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