RF平面螺旋微电感的物理模型

摘要

为了在RF频率域内准确模拟RF平面螺旋微电感的性能,讨论了一种计算RF平面螺旋微电感的物理模型,此模型采用Greenhouse法计算微电感的电感量,在计算微电感Q值时,考虑了诸如涡流、衬底电阻及各种寄生电容等因素,寄生电容包括电感与终端引出层间的交叉电容,电感与衬底间的电容,衬底电容等.这种模型可以计算不同布局及参数的微电感,为微电感的设计及其性能的优化提供了一种很好的方法.