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MICRO-COMPONENT COMPRISING A PLANAR INDUCTANCE AND METHOD FOR PRODUCTION OF SUCH A MICRO-COMPONENT

机译:包含平面电感的微成分和生产这种微成分的方法

摘要

A micro-component incorporating a planar inductance, arranged above the final apparent Metallization layer (2) arranged within the substrate (1), has a metallic planar coil and two layers of high magnetic permeability arranged on both sides of the coil. Each layer of high magnetic permeability is formed of a stack (23, 54) of successive elementary layers (17, 19, 21, 52) of a material with high magnetic permeability and elementary layers (16, 18, 20, 22, 53) which are electrically insulating. An Independent claim is also included for a method for the fabrication of such a micro-electronic component incorporating a planar inductance.
机译:布置在布置在基板(1)内的最终表观金属化层(2)上方的,包含平面电感的微元件具有金属平面线圈和在线圈的两侧布置的两层高磁导率。高磁导率的每一层由具有高磁导率的材料的连续基本层(17、19、21、52)和基本层(16、18、20、22、53)的堆叠(23、54)形成。它们是电绝缘的。还包括一种独立权利要求,用于制造这种结合了平面电感的微电子部件的方法。

著录项

  • 公开/公告号AU2003260580A1

    专利类型

  • 公开/公告日2003-12-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 MEMSCAP;

    申请/专利号AU20030260580

  • 发明设计人 LIONEL GIRARDIE;

    申请日2003-06-11

  • 分类号H01L21/02;H01L27/08;

  • 国家 AU

  • 入库时间 2022-08-21 23:02:44

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