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电子束能量、剂量对固化厚度影响的研究

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摘要

在电子束液态曝光技术的可行性已被证实的基础上,采用理论和实验相结合的方法,就电子束能量和剂量对固化深度的影响进行了研究,以TMPTA和环氧618两种液体低聚物为抗蚀剂,得出了不同能量、不同剂量下的有效穿透深度曲线,以及两种抗蚀剂在能量为25 keV的电子束辐射下的临界剂量,固化出了十字形微结构.

著录项

来源
《微细加工技术》|2005年第4期|7-11,64|共6页
作者
卢文娟; 张玉林; 孔祥东;
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作者单位

山东大学,控制学院,电子束研究所,济南,250061;

山东大学,控制学院,电子束研究所,济南,250061;

东营职业学院,科研处,东营,257091;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光刻、掩膜;
关键词
电子束; 抗蚀剂; 能量; 剂量;

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