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环境因素对微纳加工中精确定位影响的研究

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摘要

以双频激光干涉仪在电子束曝光机精确定位中的运用为例(其具有典型的代表性),研究环境因素对微纳加工中精确定位的影响,并针对温度是其中影响最大的因素,提出了一种实时温度补偿方法,修正了测量结果由于热膨胀不能真实反映工件台位置带来的定位误差.

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来源
《微细加工技术》|2007年第5期|5-9,30|共6页
作者
张波; 薛虹;
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作者单位

中国科学院电工研究所,北京,100080;

中国科学院电工研究所,北京,100080;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体器件制造工艺及设备;
关键词
微纳加工; 双频激光干涉仪; 环境因素; 热膨胀; 实时温度补偿;

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