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王丽军; 王小平; 张雷; 王隆洋;
上海理工大学,理学院,上海,200093;
金刚石薄膜; 衬底位置; 等离子体球;
机译:基板夹持器设计对微波等离子体辅助CVD生长大面积多晶金刚石薄膜应力和均匀性的影响
机译:通过微波等离子体CVD沉积大面积均匀金刚石薄膜
机译:HFCVD金刚石薄膜在大面积上的两步生长
机译:氢气流动对CH_4 / H_2气体混合物中硅基衬底薄CVD金刚石薄膜质量的影响
机译:用于大面积金刚石膜沉积的热丝CVD反应器中的多丝阵列和衬底支架的设计
机译:在c面蓝宝石衬底上通过CVD进行大面积单层MoS2纳米片的分散生长和激光诱导的波纹
机译:大面积硅衬底上的CVD金刚石生长大面积硅衬底上的CVD金刚石生长
机译:单源mOCVD在大面积衬底上开发HTs sNs器件
机译:大面积金刚石薄膜和控制金刚石薄膜图案形成的装置和方法
机译:大面积CVD金刚石单晶的制造方法以及由此获得的大面积CVD金刚石单晶
机译:大面积CVD金刚石单晶的生产工艺及该工艺获得的大面积CVD金刚石单晶的生产工艺
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