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江民红; 刘心宇; 李海麒;
桂林电子科技大学,信息材料科学与工程系,桂林,541004;
中南大学,材料科学与工程学院,长沙,410083;
陶瓷靶; ZAO薄膜; 射频磁控溅射; 循环退火; 电阻率; 透光率;
机译:ZAO粉,溅射靶材及相关膜的制备与性能
机译:磁控溅射沉积在柔性基板上的ZAO薄膜的光电性能实验研究
机译:ZAO陶瓷靶的制备及其对膜光电性能的影响
机译:溅射法研究非晶硅薄膜和超晶格薄膜的结构和光电性能
机译:使用碳纳米管/聚四氟乙烯复合聚合物靶材通过中频溅射制备的氟碳薄膜
机译:衬底温度对直流磁控反应溅射制备ZAO薄膜的影响
机译:玻璃激光聚变靶材的制备
机译:NiSi靶材,靶材,NiSi靶材的制造方法,NiSi薄膜,其制备方法和薄膜元件
机译:高纯度钴铁合金溅射靶材,使用相同溅射靶材沉积的磁性薄膜和制备相同高纯度钴铁合金溅射靶材的方法
机译:用于形成磁性薄膜的镍铁合金溅射靶材,用于制造磁性薄膜的镍铁合金溅射靶材和用于形成磁性薄膜的镍铁合金溅射靶材
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