烧结工艺对ZAO靶材微观结构和性能研究

摘要

以纳米级ZnO和Al2O3为基础粉料,采用模压+常压固相烧结的方法制备ZAO靶材,研究了烧结工艺对于靶材微观结构和性能的影响,并对其烧结机理进行了探讨分析.研究表明:过高的烧结温度容易造成第二相的生成和晶粒粗大,以致影响靶材的性能;在1150～1300℃内,靶材的密度随着烧结温度的上升而明显增大,上升趋势在1300℃后变缓;1300℃下烧结6h,可以制得结构均匀、致密度达99.42﹪的ZAO靶材;ZAO靶材的显微硬度随烧结温度的升高在1250℃达到最大值946MPa,但继续升高烧结温度靶材的显微硬度却有所降低。