微传感器最新发展

摘要

近年来,微传感器受到国际传感技术界的广泛关注.本文介绍十多个微传感器,包括三轴加速度计,单、双轴加速度计片,表面微机械陀螺(角速度传感器),微惯性导航系统,微磁通门传感器,磁阻传感器,纳米皮拉尼压力传感器,微科氏质量流量计,毫米波图像传感器,GPS手表(1cm3),二氧化碳传感器和微/超微角位移传感器.文中简要介绍它们的基本结构、敏感机理、特点等,从中可以看出微传感器已成为传感技术中有重要应用前景的组成部分.