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邢维巍; 冯晓妍; 樊尚春; 汤章阳;
北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京 100191;
谐振式; 传感器; 闭环系统; 动态特性;
机译:热激励谐振式硅微结构压力传感器温度场研究(英文)
机译:热激励谐振式硅微结构压力传感器温度场研究
机译:用于微传感器的硅束偏转测量系统
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机译:基于AGC闭环控制的谐振式压力传感器驱动仿真及接口电路设计
机译:桑迪亚国家实验室的声学,光纤和硅微电子微传感器研究和开发活动。
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机译:硅微传感器的安装方法和制造方法以及硅微传感器
机译:用于测量磁场的P型磁阻谐振式微传感器
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