高准确度柔性定位控制传感器技术研究

摘要

本文所述的高准确度柔性定位传感器是由微型光电开关、高稳定触发器、高稳定测量力的簧片组成,其定位重复性小于0.01μm,叙述了柔性定位传感器的技术方案设计、工作原理、试验方法及应用,该传感器适用于高准确度位移测量设计中选用,可应用在航空、航天、民用等科技研究院、所或企业.