“直接固体进样”辉光放电质谱法(GDMS)分析高温合金、工程涂层、薄膜和粗糙表面痕量元素的研究进展

摘要

辉光放电质谱法(GDMS)是一种直接固体进样技术,在航空航天、半导体、能源、医疗器械等领域的高灵敏度痕量元素分析中具有重要的应用价值。文中给出了几个应用实例,包括在质量控制、生产支持和失效分析中的应用。GDMS是全测量分析的首选技术,特别是用于监测高温合金中的临界体痕量杂质(如S、Se、Pb等),因为它具有特殊的长期重现性(年测量RSD<10%)。配备了快速流辉光放电源的GDMS是一种非常灵敏的检测技术,在直流模式下分析工程涂层中痕量杂质厚度达100余毫米,在调制模式下分析金属氧化物薄膜中的痕量杂质厚度达100余纳米。我们还证明了这种GDMS技术也是粗糙表面的近表面化学分析的有效工具。