扫描电子显微镜高压部分故障排除

摘要

扫描电子显微镜是近代高科技的产物,放大倍率高,成像清晰,操作方便,因而在医学、生物学、地质、材料科学等领域获得广泛的应用。扫描电子显微镜是光机电一体化的仪器,机内高压系统。