走査電顕試料作製におけるトラブルシューティング

摘要

今回は，トラブルシューティングということで見逃しやすいポイントについて記載したか全ての試料に当てはまるものではない．ここで言えることは，どのような試料においても各処理工程でアーチファクトの要因が潜hでいるということである．従って，良いSEM像を得るためには全ての過程が適切におこなわれることが必要である．