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管峰; 李圣怡; 关朝亮; 铁贵鹏;
国防科学技术大学机电工程与自动化学院,长沙410073;
超精密加工技术湖南省重点实验室,长沙410073;
气体静压止推轴承; 误差分析; 吸附变形; 补偿车削;
机译:真空兼容的静压气体轴承-使用静压气体轴承和气动执行器的半导体暴露装置
机译:真空兼容静压气体轴承半导体曝光装置,采用静压气体轴承和气动执行器
机译:空气静压轴承设计方法(第三):空气静压轴承设计的基本知识②
机译:混合低温制冷机的静压气体轴承设计与试验
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机译:混合电磁轴承转子系统的性能和深度学习动态特性分析的弹性箔气体轴承
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机译:气体轴承设计图表。第2卷。静压气体轴颈轴承和静压气体推力轴承
机译:使用多孔质静压气体轴承的多孔质静压气体轴承以及多孔质静压气体轴承的轴承材料
机译:静压气体轴承,用于真空环境的静压气体轴承装置以及静压气体轴承装置的气体回收方法
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