面向激光微纳加工的柔性XY平台设计与分析

摘要

针对激光微纳加工设备中传统机械式的微位移机构运动方向单一而柔性铰链本身驱动又存在驱动位移小的问题,设计了一种柔性大行程完全解耦的XY微纳运动平台;推导了杠杆位移放大器的放大比率模型,通过粒子群优化算法对运动平台的尺寸进行优化分析.运用ANSYS分析软件,对所设计平台的静力学、动力学性能进行分析.仿真结果表明:该平台具有良好的解耦特性,能够满足机构的两自由度运动解耦要求.